Verifire? MST激光干涉儀提供了一個****的嶄新的測量方式和能力，傳統(tǒng)的激光干涉儀應用是測量兩個面的波前變化，也就是說測量一個 由兩個面所形成的腔。但是，如果所測量的是一個沒有經(jīng)過鍍膜的平行平板，則就會產(chǎn)生兩個疊加的干涉條紋（三個面的腔所形成），這樣就會干擾標準的位相干涉測量分析。現(xiàn)在，ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀解決了這一個問題，通過波長調(diào)制技術和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進行三個甚至四個平行面的測量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。

三平面干涉測量

激光干涉儀可以在你的測量中，只要一次數(shù)據(jù)采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同時還能得到平行平板的光學厚度：

? 前表面形貌圖

? 光學厚度變化

? 物理厚度變化和后表面形變

四表面干涉測量

這一技術能夠通過兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果：

? 前表面和后表面的形貌圖

? 物理厚度變化

? 光學厚度變化

? 折射率變化
- 非線性材料均勻性
- 線性材料均勻性

多表面樣品測量快速、簡單和質(zhì)量提升

同時測量表面形變和光學厚度變化

平行平板兩側(cè)測量就可以得到其均勻性：

? 不需要涂油就可以進行**、快速測量

? 兩次測量不需要進行調(diào)整

新型的線性材料均勻性測量

快速測量，只需要幾分鐘而不是幾個小時